衡陞科技致力於最先進的設備測量技術。從2010年起，衡陞科技發表SA系列是應用在SEM系統的故障分析，STA系列是適用於STM系統中，
MS系列應用在Hitachi系統的SEM做分析，TFA系列則用在TEM系統的物品挑取，衡陞科技更擁有完善及大規模生產奈米級探針的能力，能夠製作出比10奈米更小的技術。
除了銷售奈米級的探針之外，衡陞還提供了微米級探針使用於常規電氣性能的分析。FA和PFA系列使用於光學顯微鏡探針台上的樣品上及電路修補。
為了滿足市場和技術上的需求，衡陞提供250奈米曲率半徑的FA系列及50奈米曲率半徑PFA系列來滿足不同的應用。
衡陞科技在2021年開發了MST技術，並導入其生產線來製造所有的探針。
探針表面清潔(MST)技術，其可以有效控制探針形貌以及表面清潔度，搭配嚴格的規範制定以及多道的品質管控及獨特設計的包裝方式，以確保所有產品都可以滿足客戶的標準。
2006 / 07
衡陞科技設立於台北，台灣。
2010
提供CR35應用在28奈米的故障分析技術上。
2012
提供CR20應用在20奈米的故障分析技術上。
2013
提供CR10應用在14奈米的故障分析技術上。
2015
提供CR5應用在7奈米的故障分析技術上。
2018/04
衡陞科技總部移至新竹科學園區。
2019
代理德國Kleindiek Nanotechnik的 Nanoprobing系統。
2020
提供CR3應用在3奈米的故障分析技術上。
2021
衡陞科技獲得ISO9001認證。
衡陞科技在2021年開發了MST技術。
2022
衡陞科技預計取得ISO17025認證。
2023
衡陞科技預計取得ISO27001認證。
