产品管理
MSCT-MS060TPL012TC02A3-CR200
CR200 是应用在200nm以下的制程故障分析。
标准型号提供更好的耐用度
- 可使用在Hitachi 奈米点针台系统上
- 不须经过化学清洗过程即可使用
- 在包装之前,每支针皆有经过SEM检查
- 裸针阻值在50奥姆以下
- 经过衡升科技独特MST技术,以增加产品的均匀性
- 针身的加长使作业视角更优良
- 适用于200nm以下制程故障分析
材质 | Tungsten | 镀膜 | NA |
线径( WD) | 0.25mm | 总针长(TPL) | 12mm |
针尖长度 ( TC) | 2mm |
铜管线径(CD) |
0.6mm |
针尖夹角 | A3 | 曲率半径(CR) | <200nm |
Suitable for measuring Process | ≤200nm 制程组件故障分析 |
MSCT | - | MS | 060 | TPL012 | TC02 | - | A3 | CR200 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
(1) | (2) | (3) | (4) | (5) | (6) |
- 探針應用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米點針機台做電性量測分析
- 銅管直徑(CTD) : 0.6mm
- 總針長 (TPL): 12mm
- 針尖長度 (TC): 2mm.
- 針尖夾角: A3
可選擇之針尖夾角: A2,A3 - 曲率半徑(CR): <200nm
針尖到200nm的位置,直徑範圍為300nm-450nm