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MSCT-MS060TPL012TC02A3-CR150

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MSCT-MS060TPL012TC02A3-CR150

CR150 是应用在180nm以下的制程故障分析。
标准型号提供更好的耐用度

  • 可使用在Hitachi 奈米点针台系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前，每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50奥姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术，以增加产品的均匀性
  • 针身的加长使作业视角更优良
  • 适用于180nm以下制程故障分析

 

 
材质 Tungsten 镀膜 NA
线径( WD) 0.25mm 总针长(TPL)  12mm
针尖长度  ( TC) 2mm

铜管线径(CD)

 0.6mm
针尖夹角 A3 曲率半径(CR) <150nm
Suitable for measuring Process ≤180nm 制程组件故障分析
MSCT - MS 060 TPL012 TC02 - A3 CR150
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  1. 探針應用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米點針機台做電性量測分析
  2. 銅管直徑(CTD) : 0.6mm
  3. 總針長 (TPL): 12mm
  4. 針尖長度 (TC): 2mm.
  5. 針尖夾角: A3
    可選擇之針尖夾角: A2,A3
  6. 曲率半徑(CR): <150nm
    針尖到100nm的位置,直徑範圍為200nm-350nm

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