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MSCT-SA025TPL013TC025A2-CR50

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MSCT-SA025TPL013TC025A2-CR50

CR50是应用在55nm以上的制程故障分析。

  • 可使用在FEI, Kleindiek, Tescan, Joel以及Zeiss系统上
  • 不须经过化学清洗过程即可使用
  • 在包装之前，每支针皆有经过SEM检查
  • 裸针阻值在50欧姆以下
  • 经过衡升科技独特MST技术，以增加产品的均匀性
  • 针径可做选配，目前可选配宽度为：0.1mm, 0.25mm, 0.3mm, 0.5mm, 0.6mm
  • 适用于55nm以上制程故障分析

材质 纯钨 镀膜 NA
线径(WD) 0.25mm 总针长 (TPL)  12.5mm
针尖长度(TC) 2.5mm 针尖宽度(TBD) -
针尖夹角 A2 曲率半径(CR) <50nm
弯针服务 - 套不锈钢管服务 -
应用 55nm以上制程元件故障分析
MSCT - SA 025 TPL013 TC025 A2 - CR50
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  1. 探针应用: SA系列使用在SEM的奈米点针机台做电性量测分析
  2. 探针线径(WD): 0.25mm
  3. 总针长(TPL): 12.5mm
  4. 针尖长度(TC): 2.5mm
  5. 针尖夹角型号: A2
    可选择之针尖夹角: A2, A3
  6. 曲率半径(CR): <50nm
    针尖到50nm的位置，直径范围为80nm-100nm

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