MSCT-MS060TPL012TC02-CR3

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CR5 是应用在5nm以下的制程故障分析。

材质	Tungsten	镀膜	NA
线径(WD)	0.25mm	总针长(TPL)	12mm
针尖长度 (TC)	2mm	铜管线径(CD)	0.6mm
针尖夹角	-	曲率半径(CR)	<5nm
Suitable for measuring Process	≤5nm 制程组件故障分析

MSCT	-	MS	060	TPL012	TC02	-	CR5	+
		(1)	(2)	(3)	(4)		(5)	(6)

探针应用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米点针机台做电性量测分析
铜管直径(CTD): 0.6mm
总针长 (TPL): 12mm
针尖长度 (TC): 2mm
曲率半径(CR): <5nm
针尖到50nm的位置,直径范围为35nm-45nm
Plus Type.
Compare to typical CR5, the dimension of probe from point to 500nm behind is sharper 25%

MESOSCOPE is the world leader in Nano-scale metallic probe manufacturer.

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