衡升科技提供针座可进行电性量测
- 产品消息
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- 2020-09-26
衡升设计的针座由三部分组成(如下述说明)，每一个部分可以供客户选择来组合成客户所想要使用的样貌，且每一个部分可以独立维修，因此有高度的弹性可以进行购买及维修。
Positioner- 可以精准调整X,Y, Z轴的移动
1.可选择真空或磁力固定
2.X, Y, Z轴的调整精度为2.5um.
3.可移动距离为±5mm
4.允许额外安装电气模块
5.有两种型号可以选择：
| Base Plane Size ( L＊W＊H ): 70mm＊40mm＊80mm | Base Plane Size ( L＊W＊H ): 60mm＊20mm＊80mm |
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Tip Arm- 可以安装Tip Holder 并且可以粗略的移动
1.有三种型号可以做选择：
(1) T type
a. T type 的 tip arm 来装 tip holder 并且可以使用旋转钮来进行粗调
b. 可以调整θ及 Ø 的角度
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c. 有4种样式可以选择
(2) L type
a. L type 的 tip arm来装 tip holder 并且可以手动调整 θ 角度
(3) BP type
a. 可以固定BP的tip holder
b. 可以将tip holder 固定在不同的位置上
c. 可以手动调整 tip arm的高度
Tip Holder- 可以用来放置探针
1. 超低的leakage tip holder，可以精确的量测出数据
2. 可以选择二轴缆线(10uA) 或是三轴缆线(10pA)
3. 有两种型号供选择
(1) MSCT-TH1CRL type
a.可选择1m 或 1.5m 长的缆线
b.可选择两种不同的缆线：94mm* Ø 10mm or 144mm* Ø 10mm
(2) BP type
a. 可选择1m 或 1.5m 长的缆线
