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MSCT-MS060TPL012TC02A1-CR20

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MSCT-MS060TPL012TC02A1-CR20

CR20 是應用在14nm-20nm的製程故障分析。

  • 可使用在Hitachi 奈米點針台系統上
  • 不須經過化學清洗過程即可使用
  • 在包裝之前，每支針皆有經過SEM檢查
  • 裸針阻值在50歐姆以下
  • 經過衡陞科技獨特MST技術，以增加產品的均勻性
  • 適用於14nm-20nm製程故障分析

材質 純鎢 鍍膜 NA
銅管直徑(CTD) 0.6mm 總針長(TPL)  12.5mm
針尖長度(TC) 2mm 針尖寬度(TBD) -
針尖夾角 A1 曲率半徑(CR) <20nm
應用 14nm-20nm 製程元件故障分析
 
MSCT - MS 060 TPL012 TC02 - A1 CR20
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  1. 探針應用︰MS系列使用在 Hitachi的SEM 奈米點針機台做電性量測分析
  2. 銅管直徑(CTD): 0.6mm
  3. 總針長(TPL): 12.5mm
  4. 針尖長度(TC): 2mm
  5. 針尖夾角: A1
    可選擇之針尖夾角: A1, A2
  6. 曲率半徑(CR): <20nm
    針尖到50nm的位置,直徑範圍為55nm-65nm

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