衡陞科技利用EBIC手法透過Kleindiek PS8定位出p-n junction的leak

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• 2020-05-19

  近期，衡陞科技成功使用EBIC手法在衡陞科技自有實驗室利用PS8系統精準定位出p-n junction的問題。

  以下為E-beam相關應用-EBIC的範例介紹

   首先利用IV curve手法確認drain to source是否有短路現象，經量測後發現下方第八條drain to source有短路的現象，阻值為1.5x10^4。

      < IV curve of drain-source >                                                                          < IV curve of bulk-drain >

       < IV curve of bulk-source >                                                                          < IV curve of bulk-gate >

       < IV curve of gate-drain >                                                                             < IV curve of gate-source >

   後續藉由EBIC手法嘗試在該區域進行大範圍的leak定位，從中發現下方紅框處為懷疑為drain to source leak的位置。

   對懷疑之區域進行小範圍、高解析度之leak定位，最後可以明顯的查看到p-n junction的問題。

  以下為E-beam相關利用之簡短說明 

  如有興趣或有任何問題，請洽電衡陞科技：03-666-1059